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多晶硅燒結爐技術特點

多晶硅燒結爐技術特點

    多晶硅燒結爐應用領域:用于多晶硅坩堝燒結、烘烤等工業領域,每爐可同時容納1~6工位坩堝燒結處理。該設備也可用于模具、鑄件等金屬件的淬火、退火等熱處理。

特點:多層保溫結構;側面爐殼和爐門采用雙層隔熱結構,外殼溫度低,絕熱性好。

加熱方式:加熱元件合理布置于爐膛兩側、后墻、爐門、臺車工作面底部,共5面加熱提高爐溫均勻性。

加熱元件:優質合金絲制作成螺旋狀或波紋狀,纏繞在陶瓷管或瓷釘組上,有效保證其熱輻射性和壽命。

臺車工作面上鋪設碳化硅爐板,保護底部加熱元件。

臺車采用一體化路軌或無軌式(根據用戶要求)。         

爐膛兩側配置冷卻風機,頂部開排氣通道,有效地提高冷卻速度。

溫差:爐膛內部溫差在5℃ 以內。

控溫精度:±1℃

用戶可根據熱處理工藝任意編輯曲線,操作簡單。

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